Quantum Core Block, No. 27, Zhichun Road, Haidian District, Beijing
All companies in the column are rated A class in preliminary -evaluation of suppliers and their products are applied in batch in production lines of 8-inch and above integrated circuits.
Criteria of rating: The rating is made according to the evaluation grade of corporate suppliers, batch production and application scope in technical nodes and others. For more details, please contact the Secretariat.
Branch Chairman Wang Wei
Director, Shanghai Institute of Microsystems and Information Technology, Chinese Academy of Sciences
分会主席杨德仁
浙江大学硅材料国家重点实验室主任
邀请报告嘉宾周国富
华南师范大学彩色动态电子纸显示技术研究所所长
邀请报告嘉宾甘阳
哈尔滨工业大学化工学院教授、博导、系主任
邀请报告嘉宾潘教青
中国科学院半导体研究所研究员、博士生导师
邀请报告嘉宾张兴
北京大学教授、博士生导师
邀请报告嘉宾杨国强
中国科学院化学研究所副所长
邀请报告嘉宾钱鹤
清华大学教授
邀请报告嘉宾丁玉强
江南大学教授
邀请报告嘉宾狄增峰
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员
邀请报告嘉宾王桂磊
中国科学院微电子研究所先导工艺研发中心工程师
上海博康精细化工有限公司潘新刚
报告题目：电子束光刻胶中的聚合物材料 报告简介：在微电子工艺和纳米加工中，电子束光刻胶是比较常用的高分辨率的图形掩模材料。电子束光刻胶的重要材料是有机聚合物。文中论述了各种用于电子束光刻胶的聚合物材料，从聚合物的单体结构，聚合物的不同组成，分子量范围及其分布，以及在电子束光刻胶中的表征，说明了他们对于电子束光刻胶性能的影响。光刻工艺的变化对于聚合物材料在光刻时的表现也起着重要的作用。作者最后列举
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